Microscopía electrónica. Metrología óptica 2D y 3D.

Espectroscopía de Rayos X

La espectrometría de rayos X es una de las técnicas más comunes implementadas en SEM para microanálisis. La espectroscopía de rayos X dispersiva de energía (EDX) y la espectroscopia de rayos X dispersiva de longitud de onda (WDX) son dos de estas técnicas en las que se analizan los rayos X característicos generados a partir de la interacción haz de electrones y muestras para proporcionar la composición elemental de la muestra en la forma de espectros (histogramas) en los que se pueden identificar elementos individuales. Los picos en los espectros EDX y WDX corresponden a líneas de rayos X características de un elemento específico. Así, los espectros proporcionan caracterización química cuantitativa de las muestras.

En un análisis de EDX, el rango completo de energías de los rayos X característicos se mide simultáneamente a diferencia de WDX en el que solo se mide una única longitud de onda (correspondiente a un valor de energía) a la vez. Por lo tanto, el análisis EDX es más rápido en comparación con WDX.

En términos de resolución de energía, WDX ofrece una resolución significativamente mejor que EDX. Los picos ausentes en un análisis EDX se resuelven claramente en un espectro WDX. Esto es especialmente útil cuando se analizan elementos traza.

Para muestras desconocidas, es conveniente realizar un análisis EDX inicial que identifique los elementos principales presentes en la muestra, seguido de un análisis WDX más sensible para resolver picos superpuestos y detectar elementos traza que excedan el límite de detección del detector EDX.

Espectroscopia de difracción de electrones retrodispersados - EBSD

Los electrones acelerados en el haz primario de un microscopio electrónico de barrido (SEM) pueden ser difractados por capas atómicas en materiales cristalinos. Estos electrones difractados pueden detectarse y generan líneas visibles, llamadas bandas de Kikuchi o "EBSP" (patrones de retrodispersión de electrones).

Estos patrones son efectivamente proyecciones de la geometría de los planos de la red en el cristal y dan información directa sobre la estructura cristalina y la orientación cristalográfica del grano del que se originan. Además junto a los parámetros cristalográficos (orientación y sus relaciones) dispondremos de morfología (tamaño y forma) y de composición química (identificación de fases).

Para adaptarse mejor a sus necesidades analíticas particulares, hay una variedad de espectrómetros que se pueden integrar en los sistemas TESCAN SEM y FIB-SEM.