Contactar

Oficinas +34 91 148 8267

Tel.  +34 682 715 975 (click para llamar)

info@zeppelinmet.com


Business Park Europa Empresarial

C/Rozabella 8,

Edificio Paris, oficina 12

28250 Las Rozas (Madrid)



TESCAN SOLARIS

Estación de nanofabricación avanzada para su laboratorio de investigación

NANOFABRICACIÓN Y PREPARACIÓN DE LAMELAS

• Excelente imagen SEM de ultra alta resolución

• Columna Ga FIB de mejor resolución

• Motor de nanopatrones de alta precisión para haces de electrones e iones

• Sistema de inyección de múltiples gases con una variedad de gases precursores

• Adelgazado final FIB preciso para obtener resultados de calidad mejorados en la preparación de muestras TEM gracias al excelente rendimiento del haz de iones a bajos voltajes de aceleración

• Flujos de trabajo y recetas optimizadas para una fácil preparación de lamelas TEM ultrafinas

• Interfaz de usuario modular fácil de usar Essence ™



Principales beneficios

· Calidad de clase mundial en la preparación de muestras.
El diseño de vanguardia de las ópticas en la columna de iones, FIB Orage ™ , garantiza una alta resolución en todo el rango de energía del haz, versatilidad y las mejores condiciones para la preparación de muestras. Sin embargo, su excelente rendimiento a bajas energías es lo que hace de esta columna un instrumento de clase mundial para realizar las tareas de nanofabricación más exigentes, incluida la preparación de muestras TEM ultra delgadas de procesos sub-20 nm con la máxima calidad después del pulido final de bajo kV.

· Máxima versatilidad en la preparación de muestras para su laboratorio.
La columna Orage ™, ya sea utilizada con corrientes de haz de iones bajos para fabricar nanoestructuras delicadas o corrientes altas para cumplir con los requisitos de fresado de gran volumen, es capaz de generar corrientes máximas de hasta 100 nA a la vez que conserva la calidad del haz, ofreciendo una versatilidad incomparable para satisfacer una amplia gama de aplicaciones FIB.

· Nanofabricación con la máxima calidad.
Manteniéndose al día con un número cada vez mayor de aplicaciones de fresado FIB que requieren bajas energías de haz, la columna Orage ™ funciona con bajas energías de hasta 500 eV, lo que brinda la posibilidad de un fresado suave para completar tareas como el pulido final de la muestra TEM con una mínima amorfización. La preparación de la superficie es posible para el microanálisis EBSD, o el pulido final de la superficie delicada en aplicaciones de decapado de chips sub-20 nm para poder caracterizar la arquitectura de los dispositivos.

· Aprovechar al máximo las capacidades del haz de iones.
Un sistema de inyección de gas (GIS) rápido, eficiente y de alto rendimiento es esencial para todas las aplicaciones FIB. El nuevo OptiGIS ™ tiene todas estas cualidades y el S9000G puede equiparse con hasta 6 unidades de OptiGIS, u opcionalmente, con un sistema de 5-GIS de 5 boquillas en línea que brinda la máxima versatilidad en instalaciones de propósito general. Además, también se encuentran disponibles diferentes químicas de gas patentadas y recetas verificadas para el decapado planar de los circuitos integrados.

· Máxima precisión y óptimo rendimiento FIB con facilidad
La columna Orage ™ FIB está equipada con un suministro de alto voltaje ultra estable y un selector de apertura piezoeléctrico de gran precisión, que permite un cambio rápido entre los ajustes predeterminados del FIB y una excelente repetibilidad. Además, un asistente semiautomático de optimización del spot de haz permite a los usuarios seleccionar fácilmente el mejor spot que optimiza las condiciones de fresado FIB para cada aplicación en particular.

· Capacidades de imagen mejoradas y ampliadas
El nuevo sistema de detección en haz de la columna Triglav ™ se ha optimizado, mejorando más de tres veces la eficiencia de detección de señal. Además, se han ampliado las capacidades de detección y ahora es posible recopilar señales BSE axiales con filtro de energía. Posibilitando n nuevos contrastes y proporcionando una sensibilidad superficial mejorada mediante la detección selectiva de las señales BSE de baja pérdida.
· Sensibilidad superficial mejorada y contraste significativo
Las capacidades de detección selectiva de señales electrónicas disponibles en la columna Triglav ™ brindan a los usuarios un control completo sobre la sensibilidad de la superficie y la opción de explorar con diferentes contrastes. Las imágenes que contienen contraste topográfico o del material, o ambos, se pueden adquirir simultáneamente para obtener una mejor comprensión de la muestra en un tiempo mínimo.
 
· Microanálisis 3D rápido
El nuevo y mejorado sistema de detección en lentes permite la adquisición rápida de imágenes, que en combinación con corrientes de haz de iones altas de hasta 100 nA, resulta en la adquisición rápida de datos para estudios ultraestructurales 3D y caracterización de muestras microanalíticas 3D. Los datos de EDS y EBSD se pueden obtener simultáneamente durante la tomografía FIB-SEM y postprocesarse con un software especifico para obtener reconstrucciones de muestras en 3D que proporcionan a los investigadores en ciencias de la vida o nanomateriales información muy completa para una mejor comprensión de la muestras.

· Las mejores condiciones para microanálisis garantizadas.
La nueva generación de Triglav ™ también viene con la optimización adaptativa de la forma del spot, lo que resulta en una resolución mejorada a altas corrientes de haz de electrones. Tal característica es beneficiosa para técnicas analíticas rápidas como EDS, WDS y EBSD. Además, el cañón Schottky es capaz de generar corrientes de haz de hasta 400 nA con cambios rápidos de la energía del haz que garantizan una señal excelente para todas las aplicaciones microanalíticas.

· Análisis de obleas grandes
El diseño óptimo de geometría objetiva de 60 °, y una cámara de muestras grande, permiten análisis SEM y FIB de obleas de 6 ”y 8” en cualquier posición de las mismas.

· Las aplicaciones complejas ahora son más fáciles que nunca.
La nueva plataforma de software TESCAN Essence ™ es una interfaz simplificada, de usuario multiusuario con una disposición gráfica que permite un acceso rápido y fácil a las funciones principales. Esta interfaz fácil de usar puede personalizarse para adaptarse mejor a aplicaciones particulares y al nivel y preferencia de las habilidades del usuario. Una amplia gama de módulos de software, asistentes y recetas hacen que todas las aplicaciones del SEM sean una experiencia fácil y sencilla tanto para los usuarios expertos como para los nuevos, lo que aumenta la productividad y contribuye a aumentar el rendimiento en el laboratorio.

El nuevo TESCAN Essence ™ también ofrece el generador de escaneo basado en vectores Advanced DrawBeam ™ para el mecanizado FIB rápido y preciso y la litografía de haz de electrones

Ejemplo de aplicaciones

¿Necesita ampliar la información?

Rellene el formulario y descargue el catálogo del TESCAN SOLARIS

Share by: