VacCoat DSCR

Sistema dual (Metalizadora + Evaporadora de carbono) VacCoat DSCR. Sistema dual compacto para recubrimiento con metales nobles como oro (Au), paladio (Pd), platino (Pt) y oro/paladio (Au/Pd) en muestras no conductoras o poco conductoras, y para recubrimiento de las muestras con una película de carbono.

Es una máquina versátil para la preparación de muestras SEM. La opción automática completa permite un uso fácil del sistema incluso para operadores principiantes. El software fácil de usar con secciones gráficas simplifica la percepción de la información de deposición. Equipado con cabezal intercambiable con capacidad de cargar dos fibras de carbono con un diámetro de 0,8 mm, para conseguir una película de carbono más gruesa si se requiere.

Pantalla táctil intuitiva para controlar el proceso de recubrimiento e ingreso rápido de datos. Fácil carga y descarga de muestras. Deposiciones de espesor de película repetibles. Recubrimiento fino de alta resolución (orden de grano de oro de 2nm), reproducibles con precisión. Sputtering de bajo voltaje. No se requiere ningún sistema de refrigeración. Recubrimiento de carbono en modo flash y pulso. Incluye portamuestras con rotación planetaria. Cátodo de magnetrón de 2 pulgadas. Vacuómetro de termopar. Monitor de espesor de cristal de cuarzo con precisión de 1nm.

Obturador de control eléctrico. Válvula de ventilación automática. Guardando los últimos 300 recubrimientos realizados Con bomba rotativa de dos etapas y accionamiento directo de 4 m3/h. Vacío final: Menor de 50 mtorr. Cámara de cilindro de pirex de 170 mm de diámetro exterior x 140 mm. Transfiere las curvas y los datos del proceso de pulverización por puerto USB al PC.

Dimensiones: 45 x 50 x 37 cm. Peso 42 kg. 

VacCoat PLD-T

Sistema dual de alto vacío (Deposición por pulsado laser + Evaporadora Térmica) VacCoat PLD-T. Sistema de de alto vacío de deposición de película delgada de diferentes materiales mediante láser pulsado y evaporación térmica.

Puede depositar materiales complejos y estructuras cristalinas sobre sustratos con muy poca preparación. La técnica de deposición por láser pulsado conduce a una ablación no térmica eficiente ypreserva la estequiometría de los materiales objetivo. Al aplicar este método, podría depositar materiales como nitruros, óxidos, superredes, polímeros y compuestos. Manipulador de blancos (targets) motorizado con velocidad de rotación ajustable (incluye 3 targets con un diámetro de 2 cm).

Con 3 fuentes térmicas independientes y pasamuros especiales, cuyo diseño evita la transferencia de contaminación de los materiales de origen a otros materiales. Sistema de monitoreo de cristal de cuarzo para medición de espesores en tiempo real (precisión de 1 nm). Pantalla táctil intuitiva para controlar el proceso de recubrimiento e ingreso rápido de datos. Software fácil de usar. Transfiere curvas y datos del proceso de deposición por un puerto USB al PC.

Portamuestras giratorio.

Obturador electrónico.

Con Bomba turbomolecular de alto vacío, bomba de respaldo de diafragma y medidor de vacío de rango completo.

Dimensiones: 50 × 60 × 47 cm. Peso 70 kg. (1 unidad)

VacCoat DSCT

Sistema dual de alto vacío (Metalizadora + Evaporadora de carbono) VacCoat DSCT. Sistema de alto vacío turbo bombeado recubridor de pulverización catódica y recubridor de fibra de carbono con cabezales intercambiables en un instrumento adecuado para la preparación de muestras SEM.

Puede depositar materiales complejos y estructuras cristalinas sobre sustratos con muy poca preparación. La técnica de deposición por láser pulsado conduce a una ablación no térmica eficiente ypreserva la estequiometría de los materiales objetivo. Al aplicar este método, podría depositar materiales como nitruros, óxidos, superredes, polímeros y compuestos. Manipulador de blancos (targets) motorizado con velocidad de rotación ajustable (incluye 3 targets con un diámetro de 2 cm).

Con 3 fuentes térmicas independientes y pasamuros especiales, cuyo diseño evita la transferencia de contaminación de los materiales de origen a otros materiales. Sistema de monitoreo de cristal de cuarzo para medición de espesores en tiempo real (precisión de 1 nm). Pantalla táctil intuitiva para controlar el proceso de recubrimiento e ingreso rápido de datos. Software fácil de usar. Transfiere curvas y datos del proceso de deposición por un puerto USB al PC.

Portamuestras giratorio.

Obturador electrónico.

Con Bomba turbomolecular de alto vacío, bomba de respaldo de diafragma y medidor de vacío de rango completo.

Dimensiones: 50 × 60 × 47 cm. Peso 70 kg. (1 unidad)

VacCoat DST3-T

Sistema dual de alto vacío y triple target (Metalizadora + Evaporadora Térmica) VacCoat DST3-T. Sistema compacto que combina el evaporador térmico y el revestimiento por pulverización catódica, adecuado para la deposición de una amplia gama de materiales para SEM y FE-SEM. Puede pulverizar semiconductores, dieléctricos y objetivos metálicos (oxidantes y nobles).

Equipado con tres cátodos enfriados por agua de 2” de diámetro adecuado para una deposición prolongada (ilimitado sin romper el vacío). Se puede elegir que los 3 cátodos estén angulados con un punto focal común (modelo DST3-TA), que puede pulverizar desde dos o tres objetivos (opcionales) de forma simultánea o independiente para formar aleaciones o depósitos multicapa, respectivamente (tamaño máximo de sustratos en este modelo puede ser de 3 pulgadas). O elgir que los 3 cátodos estén rectos (modelo DST3-TS), adecuado para pulverizar una sola muestra grande con un diámetro de hasta 20 cm o varias muestras pequeñas. Se pueden instalar diferentes tipos de fuentes de evaporación térmica (barco, canasta y bobina) en el soporte de fuente térmica individual.

Caja de ajuste automática ajustable, lo que minimiza la potencia reflejada en el proceso de pulverización catódica de RF. Deposición manual o automática en tiempo y espesor. Tasa de control de pulverización independiente para cada cátodo para producir estructuras de grano fino. Control automático de la potencia de deposición independiente de la presión.

Control automático de las temperaturas del cátodo para proteger la vida útil de los imanes. Dos sistemas de monitoreo de cristal de cuarzo fijos y móviles para la medición de espesores en tiempo real (precisión de 1 nm). Dos controladores de flujo másico (MFC) de precisión. Tres obturadores manuales. Portamuestras rotatorio ajustable en inclinación y altura con capacidad de selección del cátodo. Pantalla táctil intuitiva para controlar el proceso de recubrimiento e ingreso rápido de datos. Software fácil de usar.

Transfiere curvas y datos del proceso de deposición por un puerto USB al PC. La cámara cilíndrica de vacío es de Pyrex con 300 mm de diámetro exterior y 200 mm de altura. Equipado con una bomba turbomolecular de 90 l/s montada internamente, respaldada por un diafragma de 1,4 m3/h o una bomba rotativa de dos etapas de 4 m3/h. Calentador de sustrato de 500 °C (opcional). Voltajes de polarización del sustrato de 300 V CC (opcional), para aumentar la adherencia de la película al sustrato y mejorar las estructuras de la película.

Dimensiones: 60 × 65 × 47 cm. Peso 160 kg. (1 unidad)

VacCoat DCT

Evaporadora de carbono de alto vacío VacCoat DCT. Recubridor de carbono bombeado por turbo que es ideal para aplicaciones FE-SEM, EDS/WDS, TEM, EBSD y de película delgada.

Este recubridor de carbono de alto vacío ofrece películas de carbono uniformes de alta calidad con tamaños de grano fino que son adecuados para muestras que requieren caracterización de alta resolución y alta calidad. Monitor de espesor de cristal de cuarzo con precisión de 1 nm y resolución de 1 Å. Modos de recubrimiento de fibra de carbono pulsado o flash.

Cámara de vacío de 170 mm de diámetro exterior x 140 mm. Incluye portamuestras con rotación planetaria. Obturador electrónico. Recubrimiento controlado automáticamente independiente de la presión. Válvula dosificadora de precisión para un control preciso de la presión de vacío.

Gráficos en tiempo real de los parámetros de recubrimiento. Pantalla táctil intuitiva para controlar y monitorear el proceso de recubrimiento con capacidad de ingreso rápido de datos. Con bomba turbomolecular de alto vacío 90 L/S (Leybold) sin contaminación de aceite y bomba de vacío rotativa de dos etapas como bomba de respaldo. Vacío final: menor de 7 x10-7 Torr.

Vacuómetro de rango completo (Leybold). Transfiere las curvas y los datos del proceso de pulverización por puerto USB al PC.

Dimensiones: 45 x 50 x 37 cm. Peso 46 kg. (1 unidad)

VacCoat DCR

Evaporadora de carbono VacCoat DCR. Sistema compacto para recubrimientos de fibra de carbono compacto adecuado para la preparación de muestras SEM, TEM y análisis de rayos X (EDX). 

Sistema de monitoreo de cristal de cuarzo para la medición de espesores en tiempo real (precisión de 1 nm). Modos de recubrimiento de fibra de carbono pulsado o flash.

Incluye portamuestras giratorio con inclinación y altura ajustables. Portamuestras con rotación planetaria (opcional). Pantalla táctil intuitiva para controlar y monitorear el proceso de recubrimiento con capacidad de ingreso rápido de datos.

Portamuestras giratorio con inclinación y altura ajustables. Control manual o totalmente automático. Obturador electrónico.

Válvula de fuga electrónica de precisión para un control preciso de la presión de vacío. Con bomba rotativa de dos etapas y accionamiento directo de 4 m3/h. Vacío final: Menor de 50 mtorr. Cámara de cilindro de pirex de 170 mm de diámetro exterior x 140 mm. Transfiere las curvas y los datos del proceso de pulverización por puerto USB al PC.

Dimensiones: 45 x 50 x 37 cm. Peso 46 kg. (1 unidad)

VacCoat DTT

Evaporadora térmica VacCoat DTT. Evaporador térmico de sobremesa de bombeo turbomolecular para la deposición al vacío de películas delgadas. Con triple fuente y sistema de selección de fuente de evaporación (barco/canasta/serpentín), es ideal para la deposición de multicapas o aleaciones.

Capaz de alcanzar la presión deseada en poco tiempo, el proceso de recubrimiento puede llevarse a cabo en pocos minutos. Adecuado para aplicaciones de investigación, laboratorio y microscopía electrónica. La longitud de los soportes de fuente se puede ajustar en el rango de 5 cm a 9 cm.

Su buen diseño evita la contaminación de los materiales de origen entre sí. Cámara cilíndrica de vacío es de Pyrex con 300 mm de diámetro exterior y 200 mm de altura. Equipado con una bomba turbomolecular de 90 l/s montada internamente, respaldada por un diafragma de 1,4 m3/h o una bomba rotativa de dos etapas de 4 m3/h. . Sistema de monitoreo de cristal de cuarzo para medición de espesores en tiempo real (precisión de 1 nm).

Deposición manual o automática en tiempo y espesor. Pantalla táctil intuitiva para controlar el proceso de recubrimiento e ingreso rápido de datos. Registra y traza gráficos de parámetros de recubrimiento. Transfiere las curvas y los datos del proceso de deposición por puerto USB a la PC.

Control automático de la potencia de recubrimiento independiente de la presión. Software fácil de usar que se puede actualizar a través de la red. Equipado con obturador electrónico. Portamuestras giratorio (opcional). Calentador de sustrato de 2 pulgadas, 500 °C (opcional).

 Dimensiones: 60 × 65 × 50 cm. Peso 60 kg. (1 unidad)

Kit de bomba aspiradora

Kit de bomba aspiradora. Incluye: 1 Bomba aspirante de dos etapas con una capacidad de bombeo de 4,8 m³/h, 1 Manguera de vacío metálica DN 16 KF de 1 m de longitud, 1 filtro de niebla de aceite.nergía, 2 racores y 2 juntas DN 16 KF. 

VacCoat DST1-170

Metalizadora de alto vacío VacCoat DST1-170. Sistema compacto para recubrimiento con amplia variedad de metales como oro (Au), aleación de platino/paladio (Pt/Pd), plata (Ag), cromo (Cr), tungsteno (W), iridio (Ir), etc.

Produce películas uniformes de alta calidad con tamaños de grano fino que son adecuadas para muestras que requieren caracterización de alta resolución y alta calidad, como SEM, FE-SEM, EDS/WDS, TEM y EBSD.

Puede usarse para investigación y diferentes aplicaciones de micro y nanoelectrónica, células solares, recubrimiento de componentes ópticos y sensores de película delgada. Incluye portamuestras giratorio con inclinación y altura ajustables. Portamuestras con rotación planetaria (opcional). Pantalla táctil intuitiva para controlar y monitorear el proceso de recubrimiento con capacidad de ingreso rápido de datos.

Controla automáticamente la potencia de pulverización independientemente de la presión. Con bomba turbomolecular de alto vacío 90 L/S (Leybold) sin contaminación de aceite y bomba de vacío rotativa de dos etapas como bomba de respaldo. Vacío final: menor de 7 x10-7 Torr.

Vacuómetro de rango completo (Leybold). Válvula de mariposa ISO-KF 63. Monitor de espesor de cristal de cuarzo con precisión de 1nm y resolución de 1 Å. Obturador electrónico. Válvula de fuga electrónica gas Argón.

Transfiere las curvas y los datos del proceso de pulverización por puerto USB al PC. Fuente de alimentación conmutada de 80 W.

Peso 36 kg.

VacCoat DST3

Metalizadora de triple target VacCoat DST3. Con tres cátodos enfriados por agua de 2” de diámetro con un punto focal común que lo hacen adecuado para una deposición prolongada. Puede pulverizar desde dos o tres objetivos (opcionales) de forma simultánea o independiente para formar aleaciones o depósitos multicapa, respectivamente.

El tamaño máximo de sustratos en este modelo podría ser de 3”. Adecuado para pulverizar una sola muestra grande con un diámetro de hasta 20 cm o varias muestras pequeñas. Con fuentes de alimentación de RF y CC. Puede pulverizar semiconductores, dieléctricos y objetivos metálicos (oxidantes y nobles).

Equipado con caja de adaptación autoajustable, lo que minimiza la potencia reflejada en la pulverización catódica de RF. Para aumentar la adhesión de la película al sustrato y mejorar las estructuras de la película, se puede aplicar al sustrato un voltaje de polarización de CC de 300 V (opcional). La cámara cilíndrica de vacío es de Pyrex con 300 mm de diámetro exterior y 200 mm de altura. Equipado con una bomba turbomolecular de 90 l/s montada internamente, respaldada por un diafragma de 1,4 m3/h o una bomba rotativa de dos etapas de 4 m3/h. Vacuómetro de rango completo. Selección de objetivos para películas delgadas multicapa. Co-pulverización para formar películas de aleación. Sistema de monitoreo de dos cristales de cuarzo para medición de espesores en tiempo real (precisión de 1 nm). Con recubrimiento temporizado y espesor manual o automático.

Tasa de control de pulverización independiente para cada cátodo para producir estructuras de grano fino. Control automático seguro de las temperaturas del cátodo para proteger la vida útil de los imanes. Los datos se registran rápidamente mediante el uso de un control de pantalla táctil totalmente automático. Dos medidores de flujo másico (MFC) de precisión para un control preciso del vacío y la presión. Registra y traza gráficos de parámetros de recubrimientoRotación de muestra, altura e inclinación regulables.

Equipado con tres obturadores manuales y portamuestras giratorio con la capacidad de inclinarse en la dirección de los cátodos. Tiempo de pulverización ilimitado sin romper el vacío. Calentador de sustrato de 500 °C (opcional). Voltajes de polarización del sustrato de 300 V CC (opcional).

Dimensiones: 50 x 60 x 47 cm. Peso 120 kg.

Peso 36 kg.

VacCoat DSR1

Metalizadora VacCoat DSR1. Sistema compacto para recubrimiento con metales nobles como oro (Au), paladio (Pd), platino (Pt) y películas delgadas de oro/paladio (Au/Pd) en muestras no conductoras o poco conductoras.

Metalizadora VacCoat DSR1. Sistema compacto para recubrimiento con metales nobles como oro (Au), paladio (Pd), platino (Pt) y películas delgadas de oro/paladio (Au/Pd) en muestras no conductoras o poco conductoras. Se forman películas delgadas uniformes con tamaños de grano fino en un tiempo de ciclo rápido. Recubrimiento temporizado y de espesor manual o automático.

Cámara cilíndrica de pirex de 170 mm de diámetro exterior x 140 mm. Pantalla táctil intuitiva para controlar y monitorear el proceso de recubrimiento con capacidad de ingreso rápido de datos. Incluye portamuestras giratorio con inclinación y altura ajustables. Portamuestras con rotación planetaria (opcional). Fuente de alimentación conmutada de 80 W. Con bomba rotativa de de transmisión directa de dos etapas de 4 m3/h. Vacío final: menor de 40 mTorr, adecuado para recubrimiento con metales nobles. Cátodo de magnetrón de 2 pulgadas. Obturador electrónico. Válvula de fuga electrónica.

Transfiere las curvas y los datos del proceso de pulverización por puerto USB al PC.

Dimensiones: 45 x 50 x 37 cm. Peso 42 kg.

VacCoat DST1-300

Metalizadora VacCoat DST1-300. Sistema de recubrimiento con capacidad para recubrir semiconductores, dieléctricos y metales (oxidantes y no oxidantes).

Se forman películas delgadas uniformes con tamaños de grano fino en un tiempo de ciclo rápido. Su cámara grande con un magnetrón de 2, 3 o 4 pulgadas y el cátodo enfriado por agua es ideal para recubrir muestras grandes con diámetros de hasta 15 cm, o múltiples muestras más pequeñas sobre un diámetro similar. Su tiempo ilimitado de pulverización lo hace adecuado para la deposición de capas gruesas.

Puede depositar una amplia gama de materiales en diferentes superficies para aplicaciones de película delgada, como micro y nanoelectrónica y preparación de muestras SEM y FE-SEM. Controla la tasa de pulverización para lograr una estructura de grano más fina, con recubrimiento temporizado y espesor manual o automático. Controla automáticamente la potencia de pulverización independientemente de la presión.

Dos medidores de flujo másico (MFC) de precisión para un control preciso de la presión de vacío. Con bomba turbomolecular de alto vacío 90 L/S (Leybold) sin contaminación de aceite y bomba de vacío rotativa de dos etapas como bomba de respaldo. Vacío final: menor de 7 x10-7 Torr. Vacuómetro de rango completo (Leybold). Pantalla táctil intuitiva para controlar el proceso de recubrimiento e ingreso rápido de datos.

Software fácil de usar. Capaz de registrar y trazar gráficos de parámetros de recubrimiento. Capaz de registrar y trazar gráficos de parámetros de recubrimiento.

Transfiere curvas y datos del proceso de deposición por puerto USB al PC.

Dimensiones: 58 x 50 x 63 cm. Peso 50 kg.