Características principales

· Optimización adaptativa de la forma del spot para un mejor rendimiento en corrientes altas

Aplicaciones complejas más fáciles que nunca.

·  La nueva plataforma de software TESCAN Essence ™ es una interfaz de usuario multiusuario simplificada con un diseño gráfico que permite un acceso rápido y fácil a las funciones principales. Esta interfaz fácil de usar puede personalizarse para adaptarse mejor a la aplicación particular, el nivel de habilidad del usuario y las preferencias. Una amplia gama de módulos de software, asistentes y recetas hacen que las aplicaciones FIB-SEM sean una experiencia fácil y simple tanto para usuarios nuevos como expertos, lo que aumenta la productividad y contribuye a aumentar el rendimiento en el laboratorio. El nuevo TESCAN Essence ™ también ofrece el generador de escaneo basado en vectores Advanced DrawBeam ™ para un mecanizado FIB rápido y preciso.

-   La preparación de muestras sin usar Galio conserva las propiedades físicas de las muestras sin cambios.

La naturaleza inerte de los iones de Xe previene la formación de compuestos intermetálicos con los átomos de la muestra molida que puede provocar cambios en las propiedades físicas de la muestra y, por lo tanto, interferir con las mediciones eléctricas o el microanálisis de la muestra.

·   Máxima sensibilidad superficial y versatilidad en la caracterización de muestras.

La columna BrightBeam ™ SEM ofrece imágenes de ultra alta resolución sin campo con un excelente rendimiento, especialmente con bajas energías de haz. El diseño de la óptica electrónica, en combinación con un sistema de detección optimizado, garantiza una excelente colección de señales electrónicas incluso con energías de haz de electrones ultra bajas sin depender de la desaceleración del haz para la máxima sensibilidad y versatilidad de la superficie en la caracterización de la muestra.

·   Sensibilidad superficial mejorada y máximo contraste

El sistema de detección con capacidades de filtrado por selección de ángulo y filtrado de energía le brinda un control completo de la sensibilidad de la superficie y la opción de explorar con diferentes contrastes.

·  Fiabilidad y las mejores condiciones para el microanálisis

La columna BrightBeam ™ SEM viene con optimización de apertura que resulta en una resolución mejorada a altas corrientes de haz de electrones y muy beneficiosa para un rápido microanálisis. Gracias a la tecnología de lentes EquiPower ™, se garantiza una excelente estabilidad de la columna en aplicaciones que requieren mucho tiempo, como el microanálisis 2D y 3D.

Mejora de los límites de detección en el análisis TOF-SIMS y no produce ninguna interferencia en el espectro elemental (a diferencia de los FIB de Ga en los que los picos de Ga + pueden interferir con la detección de otros elementos como Ce, Ge y el propio Ga).

·  Análisis de obleas grandes

Gracias a un diseño óptimo de 70 ° Análisis de obleas grandes

Gracias a un diseño óptimo de la geometría del objetivo de 70 °, y a una cámara grande, es posible realizar análisis SEM y FIB de obleas de 8 "en cualquier ubicación.

·   Aplicaciones complejas más fáciles que nunca.

La nueva plataforma de software TESCAN Essence ™ es una interfaz de usuario multiusuario simplificada con un administrador de diseño que permite un acceso rápido y fácil a las funciones principales. Esta interfaz fácil de usar puede personalizarse para adaptarse mejor a la aplicación particular, el nivel de habilidad del usuario y las preferencias. Una amplia gama de módulos SW, asistentes y recetas hacen que las aplicaciones FIB-SEM sean una experiencia fácil y simple para usuarios novatos y expertos, lo que aumenta la productividad y contribuye a aumentar el rendimiento en el laboratorio. El nuevo TESCAN Essence ™ también ofrece el generador de escaneo basado en vectores Advanced DrawBeam ™ para un mecanizado FIB rápido y preciso., y a una cámara grande, es posible realizar análisis SEM y FIB de obleas de 8 "en cualquier ubicación.

Ejemplo de Aplicaciones